單晶矽壓力變送器通過隔離片和元件內的填充液傳送到測量膜片兩側。由測量膜片與兩側絕緣片上的電極各組成一個電容器。當兩側壓力不一致時，致使測量膜片產生位移，其位移量和壓力差成正比，故兩側電容量就不等，通過振蕩和解調環節，轉換成與壓力成正比的信號。
單晶矽壓力變送器的產品特點：
1、適合製作小量程的變送器
矽芯片的這種力敏電阻的壓阻效應在零點附近的低量程段無死區，製作壓力傳感器的量程可小到幾個Kpa。
2、輸出靈敏度高
矽應變電阻的靈敏因子比金屬應變計高50～100倍，故相應的傳感器的靈敏度就很高。因此對接口電路無特殊要求，使用比較方便。
3、精度高
由於傳感器的感受、敏感轉換和檢測三部分由同一個元件實現，沒有中間轉換環節，重複性和遲滯誤差較小。由於單晶矽本身剛度很大，變形很小，保證了良好的線性。
4、由於工作單性形變低至微應變數量級，彈性芯片較大位移在亞微米數量級，因而無磨損，無疲勞，無老化，壽命較長的壓力循環，性能穩定，可靠性高。
5、由於矽的優良化學防腐性能，即使是非隔離型的擴散矽壓力傳感器，也有相當程度的適應各種介質的能力。
6、由於芯片采用集成工藝，又無傳動部件，因此體積小，重量輕。
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